三星已經宣布正式開始量產14nm FinFET工藝的芯片產品，這款產品基本已經確定是三星自家的新一代頂級移動處理器Exynos 7，即將搭載于GALAXY S6上的Exynos 7420。
該處理器和現在的Exynos 5433一樣是四個Cortex-A57、四個Cortex-A53 CPU核心，主頻最高2.1GHz，但這一次開啟了64位模式，并支持LPDDR4內存，從目前看基本能壓制高通驍龍810。
20nm工藝之爭上，三星敗給了臺積電，尤其是一貫在手的蘋果A系列處理器代工被硬生生搶走。這一代雙方不約而同地上了FinFET立體晶體管技術，但工藝世代略有不同，臺積電是16nm，三星則是14nm。
三星不但在字面上“領先一籌”，實際進展也完爆對手，并拉上了GlobalFoundries作為合作伙伴共同生產，終于把蘋果A9(的大部分)給搶了回來，臺積電16nm則要到年底才能量產。
三星表示，14nm FinFET達成了業內最高水平的效率、性能和良品率(Intel 14nm怎么看?)，相比自家20nm HKMG，芯片性能可提升最多20％，功耗可降低最多35％，生產效率可提高最多30％，特別是立體晶體管的加入，克服了平面晶體管在性能、技術演化方面的局限。
三星還透露，他們早在本世紀初就開始了立體晶體管技術的研發，2003年在國際電子設備會議上發表了第一篇研究論文，還在2013年將立體堆疊技術成功用于NAND閃存。
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